日本e-yamato調節(jié)器高純氣體用調壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 特點介紹

高純度氣體（純度99.999~99.99999%）和腐蝕性氣體的供應。

SR-1HLVI具有特殊結構，即使從調節(jié)器出口抽真空，二次室也能獲得1X104torr以上的高真空。

即使進行抽真空，氣體也不會從入口側（一次側）流動。

可作為經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)大臣認證品生產(chǎn)。在高壓氣體設備中使用時，請選擇合格品。

也可制作流動方向體、左側入口（左高壓）型。

日本e-yamato調節(jié)器高純氣體用調壓閥分析器 SR-3LL/SR-3.5LL 規(guī)格參數(shù)

SR-3LL

SR-3.5LL

一次側壓力

(MPa)

0.4~2

0.5~2

二次側使用壓力

(MPa)

0.1~0.6

0.1~0.6

使用溫度

（攝氏度）

-10~40（股計溫度:-10~7攝氏度）

1/4

3/8

外部響應量（Pam/sec）

螺紋接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接氣主

本體

要部材質

SUS316

SUS316L

材質記號

隔膜

SUS316

諾科脫明

PTFE

是P.476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

過濾器粗糙度

200墨西哥（SR-3.5LL的出入口為焊接隧道時，未內(nèi)置過濾器。)

量

(kg)

1.4

2.3

標準流量

8/mininor)

640(P1=2MPa.Pe=0.6MPa)

1280(Pl=2MPa.P2=0.6MPa)

最大流

2/mininor Ne)

800(P)=2MPa.P2=0.6MPa)

1600(P1=2MPa.Pz=0.6MPa)